Практические задания, выполняемые в рамках данного модуля, носят комплексный характер и направлены на реализацию знаний, умений и навыков, полученных при изучении дисциплин, входящих в модули 1-4.
Программа практики включает ознакомление с нормативными, техническими и эксплуатационными документами и работу с современным технологическим и контрольно-измерительным оборудованием.
В структуру модуля заложены выполнения практики для двух профилей технологического оборудования: для сборки изделий нано- и микроэлектроники или для производства кристаллов изделий нано- и микроэлектроники.
Тематика практических заданий и план их проведения в обязательном порядке согласуется с заказчиком образовательной программы.
Проведение практики запланировано на предприятиях ОАО «Воронежский Завод Полупроводниковых Приборов – Сборка» (ОАО «ВЗПП-С», г. Воронеж), ФГУП «Научно-исследовательский институт электронной техники» (г. Воронеж), ЗАО «ВЗПП-Микрон» (г. Воронеж) – партнерами ВГПОАО по данной образовательной программе.
Требования к технологическому оборудованию, применяемому в производстве современных СБИС, характеристики и параметры промышленного оборудования литографических операций, для плазмохимической обработки полупроводниковых пластин, оборудование для проведения термических процессов, система автоматического управления тепловыми объектами, оборудование для элионной обработки пластин, средства контроля и управления технологическими процессами, требования к параметрам технологических сред, технологическое оборудование для утонения пластин, разделения и монтажа кристаллов, разварки выводов, герметизации изделий нано- и микроэлектроники, влияние технологического оборудования на параметры микроклимата чистых помещений.
Целью модуля является теоретическая и практическая подготовка специалистов в области контроля и мониторинга параметров окружающей среды в чистых производственных помещениях.
Задачами подготовки являются:
- изучение параметров среды чистых производственных помещений (ЧПП);
- изучение методов измерения и мониторинга параметров среды чистых производственных помещений;
- изучение контрольно-измерительных приборов, применяемых для контроля и мониторинга параметров чистых производственных помещений
- освоение методов контроля параметров воздушной среды чистых производственных помещений;
- освоение методов мониторинга параметров чистых производственных помещений;
- освоение способов отыскания причин деградации параметров чистых производственных помещений
- получение практических навыков использования контрольно-измерительного оборудования для контроля параметров воздушной среды;
- получение практических навыков устранения причин деградации параметров чистых производственных помещений;
- получение практических навыков мониторинга параметров чистых производственных помещений.
система электропитания технологического и инженерного оборудования; система искусственного электроосвещения; системы воздухообработки, создания и поддерживания условий окружающей среды в производственных помещениях; системы производства, подготовки и доставки магистральных газов, специальных электронных газов; системы производства и доставки ультрачистой воды; оборудование обеспечения вакуума; системы подготовки и доставки химических реактивов; системы охлаждения технологического оборудования; системы автоматического контроля и управления производством и системами инфраструктуры; системы безопасности и жизнеобеспечения персонала; системы удаления отходов; порядок эксплуатации и технического обслуживания оборудования чистых производственных помещений.
актуальность использования чистых производственных помещений в производстве изделий микро- и наноэлектроники; профессиональные компетенции специалиста по монтажу/ремонту элементов чистого помещения, аттестации и эксплуатации чистых помещений при производстве изделий нано- и микроэлектроники; типы чистых помещений и классификация чистых помещений в микроэлектронике; стандарты и нормативные документы по чистым помещениям, группа стандартов ГОСТ ИСО 14644; международные и российские организации, занимающиеся вопросами чистых помещений, источники информации по вопросам чистых помещений; требования и порядок планирования и проектирования чистых производственных помещений; комплект проектной документации для оборудования чистых помещений; конструкции, материалы и отделка поверхностей чистых помещений; чистота поверхностей и пригодность строительных материалов по критерию чистоты; традиционные строительные технологии и модульные конструкции в проектировании чистых помещений; учет в процессе проектирования ЧПП характера технологического оборудования микроэлектронного производства; порядок перемещения оборудования в чистые производственные помещения: транспортировка крупногабаритного оборудования, передача материалов и малогабаритного оборудования; порядок монтажа оборудования чистых производственных помещений в зависимости от его назначения; порядок уборки чистых производственных помещений после монтажа; оформление документации на чистые помещения и их аттестация; требования техники безопасности при проведении монтажных работ.